何謂thermal budget
熱積存(ThermalBudget).•在高溫下摻雜原子快速的擴散.D=D.0exp(–E.A./kT)...•較佳的熱積存(Thermalbudget)控制.較佳的晶圓對晶圓(WTW)均勻性控制.•較佳的 ...,何谓蚀刻(Etch)?.ETCH何谓蚀刻(Etch)?答:将形成在晶圆表面上的...Ans(1)Theissueofshallowjunction:lowe...
第五章熱製程
- pocket implant
- 大馬士革半導體
- photo spacer中文
- poly半導體
- ldd半導體
- 何謂thermal budget
- 零基礎入門晶片製造行業
- photo spacer製程
- usg半導體
- ild半導體
- corner rounding半導體
- 半導體心得
- 半導體via
- 半導體contact via
- NAPT 半導體
- halo implant作用
- ldd半導體
- 零基礎入門晶片製造行業
- rpo製程
- usg半導體
- 側壁空間層
- imd半導體
- sab半導體
- 半導體製程順序
- sidewall spacer用途
熱積存(thermalbudget).•摻雜原子在高溫中快速擴散;D=D0exp(–EA/kT).•較小的元件,較少的摻雜物熱擴散空間,較少的.熱積存.•熱積存指在離子佈植後的加熱製程 ...
** 本站引用參考文章部分資訊,基於少量部分引用原則,為了避免造成過多外部連結,保留參考來源資訊而不直接連結,也請見諒 **